克日，北方华创正式宣布新品——12英寸电容耦合等离子体介质刻蚀机Accura LX，该机台主要笼罩逻辑领域多个手艺节点中以AIO （双大马士革刻蚀工艺）、Contact （接触孔）为代表的要害介质刻蚀制程，并可扩展到存储领域的CMOS （互补金属氧化物半导体）相关制程，适用于Low-K（低介电常数）介质及通例介质质料的刻蚀工艺。
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